LH1002雙頻激光器

LH1002雙頻激光器采用聲光移頻技術，頻差穩(wěn)定性高，不受溫度與磁場影響，實現長期無漂移測量。出光功率0.5~1.2mW，正交線偏振無需額外起偏，非線性誤差小。

多軸分光后光強低至10%仍可穩(wěn)定采集，支持靈活擴展多鏡組測量。波長穩(wěn)定性優(yōu)異、預熱快，兼顧計量標定與復雜工業(yè)現場，適用于實驗室及嚴苛環(huán)境。

產品特點

• 雙頻頻差：20 MHz ±1600 Hz

• 光斑直徑：3/6mm

• 工作波長：632.99nm

• 穩(wěn)頻精度： ±0.02ppm

• 設備兼容光刻機干涉儀標準安裝尺寸與

      通用數據接口；

• 測速能力突出，極限測速約 6m/s，適

      配高速直線電機、晶圓臺動態(tài)檢測；

• 頻差由AOM晶振控制，不受激光管溫度、磁場影響，頻差穩(wěn)定性高，長期測量無頻漂